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2006年(nian)11月22日(ri)-碳化硅(gui)晶(jing)體作為信息功能材(cai)料與(yu)器件,已列入到國家(jia)中長期科學與(yu)技術(shu)發(fa)(fa)展規劃,公司(si)將發(fa)(fa)揮(hui)技術(shu)和成本優勢,實(shi)現規模化生產,進(jin)而成為全球市場的主要(yao)供應商。

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本發明(ming)具有(you)操作簡單(dan),成(cheng)本低廉,易(yi)于(yu)規(gui)模(mo)生產的(de)(de)優點。$301128083一(yi)種碳(tan)化(hua)硅(gui)片狀晶(jing)體的(de)(de)制(zhi)備方(fang)法(fa)(fa)[摘要]本發明(ming)涉及一(yi)種硅(gui)晶(jing)的(de)(de)制(zhi)備方(fang)法(fa)(fa),其特征在于(yu)采用兩步制(zhi)備法(fa)(fa):將(jiang)。

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