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導體器件制造方法,其采用(yong)可以(yi)很容(rong)易(yi)地去除(chu)蝕刻阻止膜或碳化硅(gui)制成(cheng)的硬掩膜的工藝$240200710171711一種碳化硅(gui)陶瓷密(mi)封環[摘(zhai)要]本發明涉及一種碳化硅(gui)陶瓷密(mi)封環。

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